Wiederkehrende Spezifikationsabweichungen an einem hochpräzisen Optik-Objektiv verhindern zunächst nur die Auslieferung. Erst eine konsequente Ursachenanalyse klärt, ob die Ursache in der Fertigung oder in der Spezifikation selbst liegt.
Ein Immersions-Objektiv aus der Starlith-19xx-Baureihe für die DUV-Lithographie erfüllte wiederholt eine Spezifikation nicht mehr. Ohne eine belastbare Ursachenanalyse blieb offen, ob nachgebessert werden musste oder ob die Anforderung selbst zu prüfen war.
Die wiederkehrende Abweichung wurde zunächst als Fertigungsproblem behandelt. Erst die systematische Trennung von Symptom, Messmethode und zugrundeliegender Spezifikation machte den eigentlichen Ansatzpunkt der Analyse sichtbar.
Prüfwert, Messverfahren, Spezifikationsstand und Fertigungsschritt wurden konsequent zueinander in Beziehung gesetzt, um einzugrenzen, an welcher Stelle der Kette die Abweichung tatsächlich entstand.
Die Root-Cause-Analyse ergab, dass die Ursache nicht in der Fertigung, sondern in einem entscheidenden Hinweis im zugrundeliegenden Patent selbst lag: Eine lineare Dezentrierung der Linse (kartesische Verschiebung) und eine Verkippung der optischen Fläche (eine Winkelgröße) waren bislang nicht konsequent zueinander in Bezug gesetzt worden. Erst die gemeinsame Betrachtung beider Abweichungsarten an einem definierten Bezugspunkt machte die Spezifikationsabweichung eindeutig erklärbar.
